地点:科研三号楼B1009
智能微系统实验室(Intelligent Microsystems Lab, IML)面向微尺度智能系统与具身智能的发展需求,围绕微型化、轻量化、柔性化和智能化的感知、驱动与系统集成技术开展研究。实验室以微机电系统(MEMS)、薄膜永磁材料微细磁化、柔性电子、微型驱动与智能感知为核心技术基础,重点面向仿生电子皮肤、轻量化灵巧手关节电机、激光通信微型快反镜以及微流控系统等典型研究对象开展基础与应用研究。
在仿生电子皮肤方向,重点研究柔性多模态触觉传感、曲面集成及复杂接触信息感知;在轻量化灵巧手关节电机方向,研究高性能永磁材料、微细磁化、电磁驱动及高功率密度微型电机技术;在激光通信微型快反镜方向,研究电磁/压电微执行器、高动态精密驱动及多自由度协同控制;在微流控系统方向,开展微型泵阀、微执行器、芯片级流体操控及生化检测系统研究。
实验室注重材料、机械、电子、控制、人工智能、通信与生物医学等多学科交叉,重点发展磁化图案设计、微型能量转换、柔性传感与驱动、多物理场耦合、系统集成及智能控制等关键技术,构建从材料与器件、微纳制造、感知与驱动到系统级智能化的完整研究链条,服务于机器人、激光通信、智能医疗及先进微系统等领域。