地点：科研一号楼1031
简介：超精密机电系统实验室依托杭州市北航国际创新研究院，主要面向超精密机电定位系统开展关键理论与技术研究。实验室聚焦行程与精度尺度矛盾、弱刚度谐振及刚柔耦合优化等核心科学问题，围绕机构设计、传感测量与驱动控制三大方向开展系统研究。在机构设计方面，研制超精密空间光机跟瞄仪样机，指向精度达0.5μrad、闭环带宽10Hz，其中样机微动机构带宽超300Hz。传感测量方面，实现量程优于80μm、RMS分辨力优于40nm的电容式位移传感器。驱动控制方面，构建宏微协同控制平台，闭环跟踪精度逼近20nm。实验室目前承担国家自然科学基金重大仪器专项、面上项目，浙江省自然基金重点项目等多项课题，发表论文30余篇，申请及授权发明专利超20项，为空间光机跟瞄、IC光刻等前沿领域提供关键技术支撑。
