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自旋芯片与技术全国重点实验室Recherche
RESEARCH

    平台建设以形成芯片全流程工艺及测试闭环为目标，高精度晶圆级电子束曝光、晶圆级单原子层级精度磁控溅射、扫描电子显微镜、综合物性测量系统等高精尖设备，有力支撑科研及教学工作高效开展。