超精密机电系统实验室主要面向半导体精密加工、空天目标跟瞄等任务需求，重点开展精密光机电系统设计、高精度传感测量技术、精密伺服驱动控制等方向的研究工作。实验室紧密围绕国家重大战略需求，主持国家重大科研仪器研制项目等系列重大课题，与航天五院等科研院所建立长期合作关系，重点攻克光束精密指向控制、纳米级微位移测量、空间目标快速跟瞄等关键技术。
